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SR8220

产品分类: SR8220
    采用2ARM构造增大了搬运范围
    实现了晶圆的高速传输和双片同取放
    确保了超高的直线精度
    ARM和Z轴的各种组合以满足应对各种装置的需求
    可同时适应于2~8英寸包括12英寸的晶圆搬送